硅片擴散是為了制成光電轉(zhuǎn)換的基本結(jié)構-PN結(jié)，因此擴散工藝在太陽能光伏產(chǎn)業(yè)中占有重要比重，為了提高太陽能光伏硅片的質(zhì)量，在擴散工藝中確保每一工序正常運行，需要自愈式電力電容器提供穩(wěn)定的無功補償。

擴散設備運行原理

擴散設備將單晶硅或者多晶硅的單/雙面液態(tài)源磷擴散，以制成光電轉(zhuǎn)換的N型發(fā)射極區(qū)，在這一過程中，由于涉及磷原子置換，在這一過程中需要保持穩(wěn)定的溫度為硅片的擴散提供良好的外部環(huán)境。

自愈式電力電容器在擴散設備中的作用

由于單晶硅或者多晶硅的單/雙面液態(tài)源磷擴散涉及的磷原子置換需要保持穩(wěn)定的溫度，眾所周知目前加熱設備功率因數(shù)普遍較低，部分設備運行時為達到設定溫度經(jīng)常高負荷運行，使用自愈式電力電容器可以提高功率因數(shù)，降低設備運行負荷，確保擴散設備運行穩(wěn)定。

小易建議：

擴散工藝會涉及部分危險化學品，在做無功補償時對安全要求相對苛刻，建議使用防爆型自愈式電力電容器確保設備運行安全。

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